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公告：我公司已于2014年8月經保定市工商局批準正式更名為保定市豐輝機械設備制造有限公司
      
 
               
      
      
      
      
                      
      
                      
      
                      
      
                      
      
      
      

      

      










       
    
      

    
      
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      蝕刻機的工作情況
      
            
      時間:2021-3-30 點擊:3619次
      
            
       
      光刻機把圖案印上去之后，刻蝕機會根據印上去的圖案刻蝕掉，光刻機標記出來應的區域和留下剩余的部分。蝕刻機的工作流程主要分前后段。前段一般是硅及硅的化合物的蝕刻，后段主要是金屬和電介質的蝕刻。刻蝕技術按工藝分類可分為濕法刻蝕與干法刻蝕。其中濕法刻蝕又包括化學刻蝕與電解刻蝕。濕法刻蝕一般只用于清洗，很少做圖案。干法刻蝕是目前主流的刻蝕技術，它是以等離子體干法刻蝕為主導。光刻只在光刻膠上做好圖案，而在硅片上是沒有圖案的，需要用干法刻蝕的等離子體蝕刻硅片。可以想象，像是垂直硅片上下的一場大雨，沒有光刻膠保護的硅片就會被轟擊，相當于在硅片上挖出一個洞或者槽。做好之后，光刻膠可以通過濕法蝕刻洗去，這樣才能得到有圖案的硅片。
      

      蝕刻機
       
      
            
            
			 
            
            
            
        
      
    
      

      






      











      




 
      



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